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我国电子行业用超纯水设备特点解析

发表时间:2013-03-05 14:30:07

  随着我国电子技术越来越发达,该行业对产品质量视为企业之生命,对于每到生产工序都非常谨慎。尤其是在生产清洗用水和生产过程中用水要求非常高,一般都会用超纯水来作为生产用水。因此,超纯水设备已经在电子行业生产工序中成为了一个必不可少的设备之一。

  1.电子工业超纯水概述

  半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MÙ.cm、15MÙ.cm、10MÙ.cm、2MÙ.cm、0.5MÙ.cm,以区分不同水质。

  2.电子工业超纯水设备特点

  电子超纯水流程通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理

  系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床(EDI 电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间

  水箱、RO 纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水

  质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户

  要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

  3.电子工业超纯水的应用领域

  1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

  2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

  3、实验室和中试车间用超纯水;

  4、汽车、家电表面抛光处理;

  5、光电子产品;

  6、其他高科技精微产品;

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