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电子工业超纯水机水质试行标准

发表时间:2014-09-26 08:48:23

  电子工业超纯水机水质试行标准。

  化学指标单位:μg/L

序号
水质项目
一级高纯水指标
二级高纯水指标
1
电阻率(25℃)MΩ·cm
≥15
≥10
2
电导率,μs/cm
0.05
0.1
3
PH值
6.8~7.2
6.6~7.4
4
细菌总数,个/mL
<3
<9
5
微粒(直径>0.5μm,粒/mL)
<150
<300
6
二氧化硅
<10
<20
7
有机物(以COD计)
<0.3
<0.5
8
钠 Na
<0.5
<2
9
铁 Fe
<1
<2
10
铜 Cu
<0.5
<1
11
钙 Ca
<1
<3
12
镁 Mg
<0.2
<1
13
锌 Zn
<0.5
<1
14
锰 Mn
<0.2
<0.5

  说明:①一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。

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